由于臭氧在水中有较高的氧化还原电位且没有二次污染在水处理领域应用越来越广泛。从开始用来消毒发展到后来的除藻、除臭、除味、脱色、去除有机物等。随着人们使用臭氧经验的不断积累，发现单独使用臭氧氧化进行水处理是处理微污染源存在很大的问题，如在低剂量和短时间内单独使用
水处理臭氧消毒器不能*氧化降解有机物部分降解的有机物也会造成二次污染。
影响因素：
（1）水质影响
主要是水中含COD、悬浮固体、色度对臭氧消毒的影响。
（2）臭氧投加量和剩余臭氧量
剩余臭氧量像余氯一样在消毒中起着重要的作用，在饮用水消毒时要求剩余臭氧浓度为0．4mg／L，此时饮用水中大肠菌可满足水质标准要求。在污水消毒时，剩余臭氧只能存在很短时间，如在二级出水臭氧消毒时臭氧存留时间只有3－5min。所测得的剩余臭氧除少量的游离臭氧外，还包括臭氧化物、过氧化物和其他氧化剂，在水质好时游离的臭氧含量多，消毒效果。
（3）接触时间
臭氧消毒所需要的接触时间是很短的，但这一过程也受水质因素的影响，研究发现在臭氧接触以后的停留时间内，消毒作用仍在继续，在初停留时间10min内臭氧有持续消毒作用，30min以后就不再产生持续消毒作用。
（4）臭氧与污水的接触方式
臭氧与污水的接触方式对消毒效果也会产生影响，如采用鼓泡法，则气泡分散的愈小，臭氧的利用率高，消毒效果愈好。气泡大小取决于扩散孔径尺寸、水的压力和表面张力等因素，机械混合器、反向螺旋固定混合器和水射器均有很好的水汽混合效果，可用于污水臭氧消毒。
